ICP雾化器为双层结构，外管为载气通路，内管为样品管，内外管精确定位，载流进入外管，在喷口处形成极速气流、负压，引导样品溶液喷出并成样品气溶胶。通常情况下，设计应用范围是固体溶解量小于1%的样品，具有灵敏度高、精度好等突出优点，可适用于有机及无机等多种样品。具有的使用效率，配合旋流雾室应用，对常规低盐样品可获得出色的检出极限。同样，雾化器还有高盐式设计，适应盐分含量可达15%。但要注意清洗，否则会发生堵塞。对于高盐样品，是D雾化器，D型应配双层雾室，A型旋流雾室，接雾化器。主要调整雾化器插入旋流雾室的深度及松紧度。注意：雾化器顶端的喷雾情况，要求雾化器充分插入，使密封圈紧密，无漏气。
ICP雾化器的保养：
雾化器在使用一段时间之后，会有部分沉淀累积，或发生堵塞。为了使分析数据更加可靠，雾化效果。通常可用适当的清洗溶剂浸泡，以溶解雾化器上的沉积物、消除影响，但不要使用超声波清洗器。
故障处理及维护：
1、用气体从喷口处反向吹气，或用配备注射器注满水后反向注射，使其畅通。
2、从喷口处滴入一滴浓氢氟酸流入内管，大约5秒后用水冲净，再用气体反向吹通。
